本在線(xiàn)film膜厚測試儀應用在透明及半透明材料的厚度或涂層的測量，包括半導體鍍膜,光刻膠，玻璃減反膜測量，藍寶石鍍膜,ITO玻璃，太陽(yáng)能鍍膜玻璃，各種襯底上的膜厚，膜的顏色測量，卷對卷柔性涂布，其他需要測量膜厚的場(chǎng)合等，無(wú)論有無(wú)底材或者底材是何種材料均無(wú)影響。應用在精密半導體wafer,ITO玻璃，fpc或pcb膜厚，材料表面光學(xué)鍍膜，電鍍陽(yáng)極處理，UV膠厚等領(lǐng)域。
原理介紹：
利用光譜反射測量PET涂布的膜厚和涂層厚度
質(zhì)量控制,生產(chǎn)過(guò)程控制
用于PET涂布膜厚和涂層檢測
軟件特點(diǎn)：
1、菜單管理
2、實(shí)時(shí)在線(xiàn)監控和歷史數據界面
3、可根據客戶(hù)要求定制界面
運動(dòng)機械配置:
X軸測量 | 自動(dòng) |
測量最大寬度 | 2m（可根據客戶(hù)要求調整） |
X軸最大移動(dòng)速度 | 0.1m/s |
單向掃描時(shí)間 | 18秒測18個(gè)點(diǎn)(標準) |
馬達傳動(dòng)系統 | 1套 |
大型滑軌 | 2.0m（可根據用戶(hù)要求調整） |
大支架 | 1套 |
控制箱+線(xiàn)槽 | 1個(gè)（PCB板，連線(xiàn)，電源，路由器） |
電腦配置
網(wǎng)線(xiàn) | 25米超5類(lèi)線(xiàn) |
網(wǎng)絡(luò )適配器 | 路由器+其他網(wǎng)絡(luò )配件 |
電腦(臺式機一臺) | 19寸TFT顯示屏， Intel CPU ，鼠標+鍵盤(pán)+3年保質(zhì)期 |
測量系統配置
反射（0度入射角）配件 | 光學(xué)器件，光源， 特殊機械配件， 光纖光譜儀，光纖， 硅片 |
技術(shù)參數(光學(xué)部分):
測試方式 | 膜面反射 |
波長(cháng)范圍 | 380-820（可見(jiàn)光）濕膜/380-1050(可見(jiàn)光),干膜 |
厚度測量范圍 | 100納米-200微米（可見(jiàn)光） |
精度 | 0.5%(30次單點(diǎn)測量1階標準差) |
測量單點(diǎn)時(shí)間 | 小于1秒 |
測量點(diǎn) | 1mm (0度角反射) |
光源和壽命 | 鎢鹵素燈 平均預期壽命10,000小時(shí) |
操作環(huán)境 | 5-35度；5-90%不結霜 |
入射角 | 0度角 |
表中的性能指標還和材料，膜層結構，粗糙度等有關(guān)
軟件
1套 | 一套測量軟件和膜厚仿真擬合軟件 |
軟件系統功能：
1、光譜反射，計算出膜厚參數； |
2、系統有手動(dòng)、自動(dòng)、系統校準模式。手動(dòng)模式時(shí)，可在計算機上控制測量，膜到位后，按測量按鈕即測量該點(diǎn)的光譜膜厚；自動(dòng)測量模式時(shí)在膜到位后進(jìn)行自動(dòng)測量；系統校準模式時(shí)，檢查系統設置，硬件狀態(tài)等。 |
3、膜厚度的歷史趨勢曲線(xiàn)，豐富的公差和報警閾值設定功能，如可設定公差帶和報警閾值。 |
4、存儲、管理測量系統的測量結果，方便回溯 |
5．仿真不同角度的膜面反射反射光譜曲線(xiàn)?？捎糜谀は甸_(kāi)發(fā)。 |
6、具有數據人工備份功能，以防數據意外丟失；系統安裝完畢后，提供系統備份硬盤(pán)，防止原始系統意外損壞； |
7、打印顏色參數掃描曲線(xiàn)，數據表，打印光譜曲線(xiàn)，打印屏幕圖像等功能； |
8、系統全部操作均在控制室內計算機上完成。 |
