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主要用于半導體硅晶片(Silicon Wafer)檢測、液晶屏(LCD)檢測、導電粒子(Conductive Particles)檢查,實(shí)驗室材料分析及其他精密工程檢測領(lǐng)域研究,可對樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉及偏光觀(guān)察。
性能特點(diǎn):
★ | 系統采用無(wú)限遠平場(chǎng)消色差、長(cháng)工作距、明暗場(chǎng)兩用物鏡,成像清晰、像面平坦 |
★ | 配備反射式柯拉照明系統,為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明 |
★ | 正像三通觀(guān)察筒,25°傾斜,極大的提高了觀(guān)察的舒適性與操作的適應性 |
★ | 配備了6"帶離合器機械平臺,行程158*158mm,可快速移動(dòng) |
★ | 最佳人機學(xué)設計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,調焦機構采用前置式操作控制,粗微調同軸 |
★ | 光源采用寬電壓數字調光技術(shù),具有光強設定與復位功能 |
★ | 可選配攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件,拓展應用領(lǐng)域 |
HN-MXD主要技術(shù)參數
光學(xué)系統 | 無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統 |
物鏡 | 無(wú)限遠平場(chǎng)消色差,長(cháng)工作距金相物鏡(明暗場(chǎng)兩用),5X、10X、20X、50X、80X |
目鏡 | 高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡,PL10X,線(xiàn)視場(chǎng)φ22mm |
觀(guān)察筒 | 正像,鉸鏈式三目,25°傾斜,分光比:雙目100%,三目100% |
照明系統 | 反射式柯拉照明,明暗場(chǎng)切換,帶簡(jiǎn)易偏光接口,12V/100W鹵素燈,預置中心 |
調焦機構 | 粗微調同軸,帶粗調上限位、松緊調節裝置和隨機限位裝置 |
物鏡轉換器 | 內定位、內傾式、五孔、明暗場(chǎng)兩用物鏡轉換器 |
載物臺 | 6英寸矩形,機械移動(dòng)平臺200mmX200mm,移動(dòng)行程:158mmX158mm |
機架 | 全新的人機工程學(xué)設計,高剛性鏡臂,"Y"型底座,前置式操作控制 |
選購附件 | 攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等 |
觀(guān)察筒 | 正像觀(guān)察筒,物的移動(dòng)與像的移動(dòng)方向一致,不會(huì )出現使用倒像觀(guān)察筒時(shí)物像方向相反而產(chǎn)生的錯覺(jué)。避免操作失誤,提高工作效率。 |
粗微動(dòng)同軸調焦機構 | 1、采用新型導軌機構,粗微動(dòng)同軸 |
機械移動(dòng)載物臺 | 1、雙層機械移動(dòng)式,帶離合器控制手柄,可快速移動(dòng) |
照明系統 | 1、12V/100W鹵素燈,預置中心 |
物鏡轉換器 | 1、內定位內傾式、五孔明暗場(chǎng)兩用物鏡轉換器 |
偏光裝置 | 1、選擇簡(jiǎn)易偏光附件可以實(shí)現偏光觀(guān)察 |
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